符合性驗(yàn)證程序基于ESD STM3.1

目的

符合性驗(yàn)證程序目的是為了驗(yàn)證離子風(fēng)機(jī)的消散時(shí)間和殘留電壓（離子平衡）在使用者規(guī)范的規(guī)格范圍內(nèi)；

周期檢驗(yàn)程序中的測(cè)試步驟通用于下列類(lèi)別的電離設(shè)備；

離子室，層流罩，工作臺(tái)和自動(dòng)化設(shè)備（臺(tái)式和懸掛式），噴氣（噴槍或噴嘴）。

測(cè)試設(shè)備

平板靜電監(jiān)測(cè)儀。

秒表或其他適宜的計(jì)時(shí)器通常在便攜式測(cè)試儀測(cè)量消散時(shí)間時(shí)使用。

測(cè)試程序——初始測(cè)試設(shè)置

測(cè)試點(diǎn)應(yīng)設(shè)在離子中和ESDS元器件的位置；

測(cè)試時(shí)應(yīng)保留離子風(fēng)加熱器或空氣過(guò)濾器（如果配備）在正常工作狀態(tài)。

測(cè)試程序——消散時(shí)間測(cè)試

1. 打開(kāi)測(cè)試設(shè)備并按制造商推薦方法使其穩(wěn)定；

2. 短暫接地分離導(dǎo)電板使其（或驗(yàn)證）歸零；

3. 在有離子的環(huán)境中斷開(kāi)接地后測(cè)試儀不要再歸零（或充電）；

4. 為導(dǎo)電板分別充電到超過(guò)初始測(cè)試電壓的任意兩極電壓（如±1200到±1500伏）；

5. 確保導(dǎo)電板迎著離子風(fēng)的氣流；

6. 消散時(shí)間測(cè)量是從導(dǎo)電板電壓衰減到初始測(cè)試電壓（通常為±100伏）時(shí)開(kāi)始，衰減到終止測(cè)試電壓（通常為±100伏）結(jié)束；

7. 重復(fù)上面步驟測(cè)試相反極性電壓；

8. 記錄兩極電壓消散時(shí)間的秒數(shù)；


測(cè)試程序——?dú)埩綦妷簻y(cè)試（平衡）

1. 打開(kāi)測(cè)試設(shè)備并按制造商推薦方法使其穩(wěn)定；

2. 短暫接地分離導(dǎo)電板使其（或驗(yàn)證）歸零；

3. 在有離子的環(huán)境中斷開(kāi)接地后測(cè)試儀不要再歸零（或充電）；

4. 放置導(dǎo)電板迎著離子風(fēng)的氣流；

5. 等待讀數(shù)穩(wěn)定；

6. 記錄殘留電壓（平衡）。

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